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集成能譜的場發(fā)射掃描電鏡 Apreo ChemiSEM

所屬分類: 材料分析
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集成能譜的場發(fā)射掃描電鏡 Apreo ChemiSEM
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2026-02-26

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品簡介

應用領域

產(chǎn)品詳情

Trinity檢測系統(tǒng)的獨特設計,搭配樣品倉內(nèi)的探測器可以在更大的能量范圍和出射角收集二次電子和背散射電子信號

  • 高真空,15 kV (減速模式)分辨率:0.5 nm*

  • 高真空,1 kV(減速模式)分辨率:0.8 nm*

  • 低真空(80 Pa),15 kV分辨率:1.2 nm^

*ChemiSEM S選配T3探測器和復合電磁末級透鏡

^各類型號均可選配低真空模式(10-500 Pa)


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